在晶圆或陶瓷表面上制造电路、芯片的工艺过程极其复杂，涉及多个工艺步骤，易产生各种缺陷，这些缺陷种类繁多、形态各异，尺寸又极小，人工检测缺陷精度差、效率低、标准不统一，给质量监控造成了极大困难。半导体图形晶圆缺陷检测设备，采用显微光学系统对晶圆表面成像，利用图像比对、人工智能算法等实现对各种缺陷的全自动识别与分类检测，可用于半导体生成厂家的多个工艺环节进行产品质量监控，可替代人工完成晶圆中大量缺陷的检测，在一定程度上避免人工检测存在的检测精度差、效率低、标准不统一等问题，此外，还可以提供大量的具有代表性的、可统计分析的缺陷检测数据，用于工艺制程分析，助力工艺改进，以达到最终保证封装产品的良率、降低生成成本的目的。 AOI-T、AOI-TC/P、AOI-X是针对于特种晶圆，例如MEMS晶圆（可能没有重复die）、陶瓷基底微电路、微型PCB等特殊检测要求，而研制的一系列定制化检测设备。本套设备采用多种倍率组合的透射、反射式显微系统，同时具备明暗场、偏光、光谱成像功能，最高可检测亚微米尺寸缺陷，可实现多种特殊要求的缺陷的检出、定位及统计。