功能简述 

           基于AI深度学习功能的探针缺陷检测，采用最前沿的AI目标检测算法，根据需求进行损伤、残胶、脏污、毛边、划痕、漏铜、断裂、削平等缺陷进行学习、分类；根据需求对探针宽度进行测量。

      性能参数

  软件功能

•   GDS导入，自动Mapping，建立Recipe；                                
•   多种运行模式：

           1. 全自动检测打标，检测复检打标；

           2. 可单行或多行独立检测或者打标。